Pietsoresistiivisen anturin rakenne

Tässä anturissa vastusliuska on integroitu monokiteiseen piikalvoon integrointiprosessilla piipietsoresistiivisen sirun valmistamiseksi, ja tämän sirun reuna on pakattu kiinteästi kuoreen ja elektrodien johdot johdetaan ulos. Pietsoresistiivinen paineanturi, joka tunnetaan myös nimellä solid-state paineanturi, eroaa liimautuvasta venymämittarista, jonka täytyy tuntea ulkoinen voima epäsuorasti elastisten herkkien elementtien läpi, mutta se tuntee mitatun paineen suoraan piikalvon kautta.

Piikalvon toinen puoli on korkeapaineontelo, joka on yhteydessä mitattuun paineeseen, ja toinen puoli on matalapaineontelo, joka on yhteydessä ilmakehään. Yleensä piikalvo on suunniteltu ympyräksi, jolla on kiinteä kehä ja halkaisijan suhde paksuuteen on noin 20 - 60. Neljä P-epäpuhtauksien vastustusliuskaa levitetään paikallisesti pyöreän piikalvon päälle ja liitetään täyssillaksi, joista kaksi ovat puristusjännitysvyöhykkeellä ja kaksi muuta ovat vetojännitysvyöhykkeellä, jotka ovat symmetrisiä kalvon keskipisteen suhteen.

Lisäksi on myös nelikulmainen silikonikalvo ja piipylväsanturi. Piisylinterimainen anturi on myös valmistettu resistiivisistä nauhoista diffuusiolla piisylinterin kidetason tiettyyn suuntaan, ja kaksi vetojännityksen resistanssiliuskaa ja kaksi puristusjännitysvastuksen nauhaa muodostavat täyden sillan.

Pietsoresistiivinen anturi on laite, joka on valmistettu diffuusiovastuksella puolijohdemateriaalin substraatille puolijohdemateriaalin pietsoresistiivisen vaikutuksen mukaisesti. Sen substraattia voidaan käyttää suoraan mittausanturina ja diffuusioresistanssi on kytketty substraattiin sillan muodossa.

Kun alustan muoto muuttuu ulkoisen voiman vaikutuksesta, vastusarvot muuttuvat ja silta tuottaa vastaavan epätasapainoisen ulostulon. Pietsoresistiivisinä antureina käytettävät substraatit (tai kalvot) ovat pääasiassa piikiekkoja ja germaniumkiekkoja. Piikiekoista valmistetut pietsoresistiiviset piianturit herkänä materiaalina ovat herättäneet yhä enemmän huomiota, erityisesti paineen ja nopeuden mittaamiseen käytettävät solid-state pietsoresistiiviset anturit ovat yleisimmin käytettyjä.