Pietsoresisoivan anturin rakenne

Tässä anturissa vastusnauha on integroitu monokiteiseen piidakalvoon integrointiprosessin avulla piipietsoresisoivan sirun valmistamiseksi, ja tämän sirun reuna -alueet pakataan kiinteästi kuoreen, ja elektrodijohdot johdetaan. Pietsoresisoiva paine-anturi, joka tunnetaan myös nimellä solid-State -paineanturi, eroaa liimakannan mittarista, jonka on tunnettava ulkoinen voima epäsuorasti elastisten herkkien elementtien kautta, mutta tuntee suoraan mitatun paineen piilakalvon kautta.

Piukalon toinen puoli on korkeapaineinen ontelo, joka kommunikoi mitatun paineen kanssa, ja toinen puoli on matalapaineinen ontelo, joka kommunikoi ilmakehän kanssa. Yleensä piilakalvo on suunniteltu ympyräksi, jolla on kiinteä reuna, ja halkaisijan suhde paksuuteen on noin 20 ~ 60. Neljä p: n epäpuhtauskestävyyttä on hajautettu paikallisesti ympyräpidon kalvoon ja kytkettynä täyteen siltaan, joista kaksi on puristuvassa stressivyöhykkeessä, ja kaksi kaksi on taitavaa stressivyöhykettä, joka on symmetrinen kunnioituksen suhteen.

Lisäksi siellä on myös neliömäistä piidakalvo- ja piikolmikuljetusanturia. Piilitterimainen anturi on myös valmistettu resistiivisistä nauhoista diffuusiolla piin sylinterin kiditason tietyssä suunnassa ja kaksi vetolujuuden resistiivistä nauhaa ja kaksi puristusjännitysresistiä nauhaa muodostavat täydellisen sillan.

Pietsoresisoiva anturi on laite, joka on valmistettu diffuusiovastuksella puolijohdemateriaalin substraatilla puolijohdemateriaalin pietsoresisoivan vaikutuksen mukaan. Sen substraattia voidaan käyttää suoraan mittausanturina, ja diffuusiovastus on kytketty substraattiin sillan muodossa.

Kun substraatti muodonmuutos ulkoisella voimalla, vastusarvot muuttuvat ja silta tuottaa vastaavan epätasapainoisen lähtöä. Pietsoresisoivina antureina käytetyt substraatit (tai kalvot) ovat pääasiassa piikiekkoja ja germanium -kiekkoja. Piihiekkojen pietsoresisoivat anturit, jotka on valmistettu piidikivoista, koska herkät materiaalit ovat herättäneet yhä enemmän huomiota, etenkin paine- ja nopeuden mittausanturit ovat yleisimmin käytettyjä.