Sopii Hitachi KM11 öljynpaineanturiin EX200-2-3-5

Paineanturin neljä painetekniikkaa

1. Kapasitiivinen

Kapasitiivisia paineantureita suosivat yleensä monet OEM-ammattimaiset sovellukset. Kahden pinnan välisten kapasitanssimuutosten havaitsemisen ansiosta nämä anturit voivat havaita erittäin alhaiset paine- ja tyhjiötasot. Tyypillisessä anturikokoonpanossamme kompakti kotelo koostuu kahdesta lähekkäin sijaitsevasta, yhdensuuntaisesta ja sähköisesti eristetystä metallipinnasta, joista toinen on olennaisesti kalvo, joka voi taipua hieman paineen alaisena. Nämä lujasti kiinnitetyt pinnat (tai levyt) asennetaan siten, että kokoonpanon taivutus muuttaa niiden välistä rakoa (todellisuudessa muodostaen muuttuvan kondensaattorin). Tuloksena olevan muutoksen havaitsee herkkä lineaarinen vertailupiiri, jossa on (tai ASIC), joka vahvistaa ja lähettää suhteellisen korkean tason signaalin.

2.CVD-tyyppi

kemiallinen höyrypinnoitus (tai "CVD") -valmistusmenetelmä sitoo polypiikerroksen ruostumattomasta teräksestä valmistettuun kalvoon molekyylitasolla, mikä tuottaa anturin, jolla on erinomainen pitkän aikavälin ajautuminen. Yleisiä eräkäsittelyn puolijohteiden valmistusmenetelmiä käytetään luomaan polypiistä valmistettuja venymämittarisiltoja, joilla on erinomainen suorituskyky erittäin kohtuulliseen hintaan. CVD-rakenteella on erinomainen kustannustehokkuus ja se on suosituin anturi OEM-sovelluksissa.

3. Sputteroiva kalvotyyppi

Sputteroiva kalvopinnoitus (tai "kalvo") voi luoda anturin, jolla on maksimaalinen yhdistetty lineaarisuus, hystereesi ja toistettavuus. Tarkkuus voi olla jopa 0,08 % täydestä asteikosta, kun taas pitkän aikavälin poikkeama on vain 0,06 % täydestä asteikosta joka vuosi. Avaininstrumenttien poikkeuksellinen suorituskyky – sputteroitu ohutkalvoanturimme on aarre paineanturiteollisuudessa.

4.MMS-tyyppi

Nämä anturit käyttävät mikrokoneistettua piikalvoa (MMS) paineen muutosten havaitsemiseen. Piikalvo on eristetty väliaineesta öljytäytteisellä 316SS:llä, ja ne reagoivat sarjassa prosessinesteen paineen kanssa. MMS-anturi käyttää yleistä puolijohteiden valmistustekniikkaa, jolla voidaan saavuttaa korkea jännitevastus, hyvä lineaarisuus, erinomainen lämpöshokkisuorituskyky ja vakaus kompaktissa anturipaketissa.