Sovellettava Passat Fuel Common Rail -paineanturi 06E906051K

1. Menetelmä paineanturin muodostamiseksi, joka käsittää:

Puolijohde -substraatin, jossa ensimmäinen välikerroksen dielektrinen kerros, puolijohdesubstraatille muodostetaan ensimmäinen keveri -dielektrinen kerros ja toinen välikerroksen dielektrinen kerros.

Alempi elektrodilevy ensimmäisessä kerrosten välisessä dielektrisessä kerroksessa, ensimmäinen keskinäinen elektrodi, joka sijaitsee samassa kerroksessa kuin alempi elektrodilevy ja etäisyydellä toisistaan.

Yhdistävät kerrokset;

Muodostaen uhrauskerroksen alemman polaarilevyn yläpuolelle;

Yläelektrodilevyn muodostaminen ensimmäiseen kerrosten väliseen dielektriseen kerrokseen, ensimmäiseen kytkentäkerrokseen ja uhrauskerrokseen;

Uhrikerroksen muodostamisen jälkeen ja ennen ylemmän levyn muodostamista ensimmäisessä yhdyskerroksessa

Liitäntäuran muodostaminen ja liitäntäuran täyttäminen ylemmällä levyllä sähköisesti kytkemiseksi ensimmäiseen kytkentäkerrokseen; Tai,

Yläelektrodilevyn muodostamisen jälkeen liitosurat muodostetaan ylemmälle elektrodilevylle ja ensimmäiselle yhdyskerrokselle, joka

Muodostaen johtavan kerroksen, joka yhdistää ylemmän elektrodilevyn ja ensimmäisen kytkentäkerroksen kytkentäuraan;

Ylemmän levyn ja ensimmäisen yhdistämiskerroksen kytkemisen jälkeen poistamalla uhrauskerros ontelon muodostamiseksi.

2. Menetelmä paine -anturin muodostamiseksi väitteen 1 mukaisesti, jolloin ensimmäisessä kerroksessa

Menetelmä uhrauskerroksen muodostamiseksi välikerroksen dielektrisen kerroksen muodostamiseksi käsittää seuraavat vaiheet:

Tallettaa uhrausmateriaalikerroksen ensimmäiseen tarkkailijan dielektriseen kerrokseen;

Uhrausmateriaalikerroksen kuviointi uhrauskerroksen muodostamiseksi.

3. Paine -anturin muodostamiseksi väitteen 2 mukaisesti, jossa käytetään fotolitografiaa ja kaiverrusta.

Uhramateriaalikerros on kuvioitu etsausprosessilla.

4. Paine -anturin muodostamismenetelmä väitteen 3 mukaisesti, jossa uhrauskerros

Materiaali on amorfinen hiili tai germanium.

5. menetelmä paine -anturin muodostamiseksi väitteen 4 mukaan, jossa uhrauskerros

Materiaali on amorfinen hiili;

Uhramateriaalikerroksen syövytysprosessissa käytettyjä etsauskaasuja ovat O2, CO, N2 ja AR;

Uhramateriaalikerroksen etsausprosessin parametrit ovat: O2: n virtausalue on 18 SCCM ~ 22 SCCM ja CO: n virtausnopeus on 10%.

Virtausnopeus vaihtelee 90 SCCM: stä 110 SCCM: iin, N2: n virtausnopeus vaihtelee 90 SCCM: stä 110 SCCM: iin ja AR: n virtausnopeus.

Alue on 90 SCCM ~ 110 SCCM, painealue on 90 mTOR ~ 110 mTOR ja esijännitysvoima on

540W ～ 660W。