Koskee Passatin polttoaineen yhteispaineanturia 06E906051K

1. Menetelmä paineanturin muodostamiseksi, joka menetelmä käsittää:

Puolijohdesubstraatin aikaansaaminen, jolloin puolijohdesubstraatille muodostetaan ensimmäinen kerrosten välinen dielektrinen kerros, ensimmäinen kerrosten välinen dielektrinen kerros ja toinen kerrosten välinen dielektrinen kerros.

Alempi elektrodilevy ensimmäisessä kerrostenvälisessä dielektrisessä kerroksessa, ensimmäinen keskinäinen elektrodi, joka sijaitsee samassa kerroksessa kuin alempi elektrodilevy ja erillään toisistaan.

Yhdistävät kerrokset;

Uhrikerroksen muodostaminen alemman napalevyn yläpuolelle;

Ylemmän elektrodilevyn muodostaminen ensimmäiselle kerrostenväliselle eristekerrokselle, ensimmäiselle kytkentäkerrokselle ja uhrautuvalle kerrokselle;

Uhrikerroksen muodostamisen jälkeen ja ennen ylemmän levyn muodostamista ensimmäisessä liitoskerroksessa

Muodostetaan liitosura ja täytetään liitäntäura ylemmillä levyillä sähköisesti kytkemiseksi ensimmäiseen liitäntäkerrokseen; Tai,

Ylemmän elektrodilevyn muodostamisen jälkeen ylempään elektrodilevyyn ja ensimmäiseen liitäntäkerrokseen muodostetaan liitosurat, jotka

Muodostetaan johtava kerros, joka yhdistää ylemmän elektrodilevyn ja ensimmäisen liitoskerroksen liitosuraan;

Ylemmän levyn ja ensimmäisen liitäntäkerroksen sähköisen liittämisen jälkeen uhrautuva kerros on poistettu ontelon muodostamiseksi.

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä paineanturin muodostamiseksi, jossa ensimmäisessä kerroksessa

Menetelmä uhrautuvan kerroksen muodostamiseksi kerrostenvälisen eristekerroksen päälle käsittää seuraavat vaiheet:

Uhrautuvan materiaalikerroksen kerrostaminen ensimmäisen välikerroksen eristekerroksen päälle;

Uhrimateriaalikerroksen kuviointi uhrautuvan kerroksen muodostamiseksi.

3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä paineanturin muodostamiseksi, tunnettu siitä, että käytetään fotolitografiaa ja kaivertamista.

Uhrimateriaalikerros on kuvioitu etsausprosessilla.

4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen menetelmä paineanturin muodostamiseksi, tunnettu siitä, että suojakerros

Materiaali on amorfista hiiltä tai germaniumia.

5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen menetelmä paineanturin muodostamiseksi, tunnettu siitä, että suojakerros

Materiaali on amorfista hiiltä;

Uhrimateriaalikerroksen syövytysprosessissa käytettyjä syövytyskaasuja ovat O2, CO, N2 ja Ar;

Uhrimateriaalikerroksen syövytysprosessin parametrit ovat: O2:n virtausalue on 18 SCCM ~ 22 SCCM ja CO:n virtausnopeus on 10 %.

Virtausnopeus vaihtelee välillä 90 SCCM - 110 SCCM, N2:n virtausnopeus välillä 90 SCCM - 110 SCCM ja Ar:n virtausnopeus.

Alue on 90 SCCM ~ 110 SCCM, painealue on 90 mtor ~ 110 mtor ja esijännite on

540w - 660w.