Moottorin paineanturi 2CP3-68 1946725 Carterin kaivinkoneelle

Menetelmä paineanturin valmistukseen, jolle on ominaista seuraavat vaiheet:

S1, joka tarjoaa kiekon takapinnan ja etupinnan; Muodostaa pietsoresisoivan nauhan ja voimakkaasti seostetun kosketusalueen kiekon etupinnalle; Muodostaa paineen syvän onkalon syövyttämällä kiekon takapinta;

S2, kiekon takaosaan sidoaminen;

S3, valmistusjohtoreikiä ja metallijohtoja kiekon etupuolella ja yhdistävät pietsoresisoivat nauhat Wheatstone -sillan muodostamiseksi;

S4, tallettamalla ja muodostamalla passivaintikerroksen kiekon etupinnalle ja passivointikerroksen aukon aukealue metallityynyn alueen muodostamiseksi. 2. Paineanturin valmistusmenetelmä väitteen 1 mukaan, jossa S1 käsittää erityisesti seuraavat vaiheet: S11: Kiekko, jolla on takapinta ja etupinta, ja määrittelee kiekkojen paineenherkän kalvon paksuuden; S12: Ionin implantaatiota käytetään kiekon etupinnalla, pietsoresisoivia nauhoja valmistetaan korkean lämpötilan diffuusioprosessilla ja kosketusalueet seostetaan voimakkaasti; S13: suojakerroksen tallettaminen ja muodostaminen kiekon etupinnalle; S14: Etsaus ja muodostaa paine syvän onkalon kiekon takaosaan paineherkän kalvon muodostamiseksi. 3. Paineanturin valmistusmenetelmä väitteen 1 mukaan, jossa kiekko on SOI.

Vuonna 1962 Tufte et ai. valmisti pietsoresisoivan paineanturin diffundoituneilla piispietsoresisoivilla nauhoilla ja piisalakalakirakenteella ensimmäistä kertaa ja aloittivat tutkimuksen pietsoresisoivasta paineanturista. 1960 -luvun lopulla ja 1970 -luvun alkupuolella kolmen tekniikan, nimittäin piin anisotrooppisen etsaustekniikan, ionin implantointitekniikan ja anodisen sidostekniikan, esiintyminen toi suuria muutoksia paineanturiin, jolla oli tärkeä rooli paineanturin suorituskyvyn parantamisessa. 1980 -luvulta lähtien, kun mikromuodostustekniikka, kuten anisotrooppinen etsaus, litografia, diffuusio -doping, ionin implantointi, sitoutuminen ja päällyste, on kehitetty edelleen, paineanturin koko on jatkuvasti pienentynyt, herkkyys on parantunut ja lähtö on korkea ja suorituskyky on erinomainen. Samanaikaisesti uuden mikrohallintekniikan kehittäminen ja soveltaminen tekevät kalvon paksusanturin paksuuden tarkasti.