Moottorin paineanturi 2CP3-68 1946725 Carter-kaivukoneeseen

1. Menetelmä paineanturin valmistamiseksi, tunnettu siitä, että se käsittää seuraavat vaiheet:

S1, joka tarjoaa kiekon, jossa on takapinta ja etupinta; Pietsoresistiivisen nauhan ja voimakkaasti seostetun kosketusalueen muodostaminen kiekon etupinnalle; Paine-syvän ontelon muodostaminen etsaamalla kiekon takapinta;

S2, tukilevyn kiinnittäminen kiekon takaosaan;

S3, valmistaa lyijyreikiä ja metallilankoja kiekon etupuolelle ja yhdistä pietsoresistiiviset nauhat Wheatstonen sillan muodostamiseksi;

S4, kerrostetaan ja muodostetaan passivointikerros kiekon etupinnalle ja avataan osa passivointikerroksesta metallityynyalueen muodostamiseksi. 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen paineanturin valmistusmenetelmä, tunnettu siitä, että S1 käsittää erityisesti seuraavat vaiheet: S11: aikaansaadaan kiekko, jossa on takapinta ja etupinta, ja määritetään kiekon päällä olevan paineherkän kalvon paksuus; S12: kiekon etupinnalla käytetään ioni-istutusta, pietsoresistiiviset nauhat valmistetaan korkean lämpötilan diffuusioprosessilla ja kosketusalueet on voimakkaasti seostettu; S13: kerrostetaan ja muodostetaan suojakerros kiekon etupinnalle; S14: Syövytys ja painesyvän ontelon muodostaminen kiekon takaosaan paineherkän kalvon muodostamiseksi. 3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen paineanturin valmistusmenetelmä, tunnettu siitä, että kiekko on SOI.

Vuonna 1962 Tufte et ai. valmisti ensimmäistä kertaa pietsoresistiivisen paineanturin hajautetuilla piipietsoresistiivisillä nauhoilla ja piikalvorakenteella ja aloitti pietsoresistiivisen paineanturin tutkimuksen. 1960-luvun lopulla ja 1970-luvun alussa kolmen teknologian, eli piin anisotrooppisen etsaustekniikan, ioni-istutusteknologian ja anodisen sidostekniikan, ilmestyminen toi suuria muutoksia paineanturiin, jolla oli tärkeä rooli paineanturin suorituskyvyn parantamisessa. . 1980-luvulta lähtien mikrokoneistusteknologian, kuten anisotrooppisen etsauksen, litografian, diffuusiodopingin, ioni-istutuksen, sidoksen ja pinnoituksen, kehittyessä paineanturin kokoa on jatkuvasti pienennetty, herkkyyttä on parannettu ja teho on korkea ja suorituskyky on erinomainen. Samaan aikaan uuden mikrotyöstöteknologian kehittäminen ja soveltaminen mahdollistavat paineanturin kalvon paksuuden hallinnan tarkasti.